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計劃歸計劃,該拆的裝置還是得拆。

不過康馳也不用把它拆得非常零散,只需要把幾個模組給分開就行了。

反正這玩意拆了外殼,誰也不認不出是什麼東西。

由於工作量比較大,康馳只能在東陽又多停留了一週,

同時在拆解休息的時候,他還抽空看了看常春光所的euv設計圖,把圖紙都給吃透得差不多了。

在光刻機的euv光源中,有兩個相對成熟可靠的方案,即dpp和lpp方案。

這兩個方案,其實原理都是差不多的,就是利用錫轉換成等離子體的過程中,可以釋放出極紫外光,

區別只是dpp是用電擊錫來啟用,lpp是用鐳射二次打擊錫液啟用。

按照華國的一貫風格,自然是啥都要試試,

所以目前這兩個方案,分別由常春光所、魔都光所負責研發。

其中魔都光所的lpp方案,進展其實是最快的,據說功率已經達到了188w,轉換效率為37,基本能夠進入實用化了。

但lpp方案中所需的脈衝大功率二氧化碳鐳射器,依然沒有攻克,目前只有國和島國能夠生產,和euv光刻機一樣有錢也買不到。

所以雖然阿斯麥的euv光刻機,用的就是這個方案,算是給華國指明瞭方向,但因為專利壁壘和禁售,挑戰反而更大。

反觀dpp方案,則可以避開專利壁壘,同時它的前景也更大,因為它是直接將電能轉化為等離子體能,光源結構簡單,隨著技術成熟相對容易提升功率,

如果能把同步輻射光源的加速器小型化,那麼dpp方案也將會有更大的應用前景。

這也是康馳選擇常春光所dpp方案的主要原因。

在吃透了常春光所的圖紙,並分析出了他們目前遇到的困難和技術缺陷後,康馳又花了幾天的時間,對這套方案進行了改良設計,然後把硬碟交給了陳海,讓他安排人送到常春去。

當何永收到硬碟,得知康馳已經對方案完成了改良設計後,忍不住掏出手機,確認了一下日期。

“這才過了十天,你確定他把圖紙看明白了?”

負責送圖紙的賴慶雷搖了搖頭:“抱歉,我只是個送圖紙的,技術層面的東西我也不知道,不過我覺得康博士應該不至於開這種低階玩笑。”

“是嗎?”何永冷笑道,“我怎麼覺得他老愛開玩笑。”

接過硬碟後,何永也忍不住立刻回到辦公室,好奇地開啟裡面的圖紙,想看看康馳所謂的改良方案是真是假。

開啟第一張整體結構圖,何永一眼就看出,這和他們原本的設計有很大的區別。

所以,他真對設計圖進行了改良?

而從消化圖紙,到完成改良設計,他僅僅只用了十天?!

先不說改良的方案到底行不行,光是這個效率,就讓何永感到有些難以置信。

短暫的驚訝過後,何永便把設計圖放大,仔細分析起了裡面的改變,眉頭也逐漸開始皺了起來。

“磁場約束?”

看著包裹著兩個電極的麻花狀線條,何永總感覺似乎在哪裡看過類似的設計結構……

沒看出什麼名堂的何永,試著根據康馳在整體結構圖上的註解,找到了這個麻花狀的詳細分解圖。

然後他頓時就瞪大了眼睛。

他終於知道自己在哪,看過類似的結構了。

這是……

仿星器!

這結構,太像可控核聚變的重要技術路線——仿星器的磁場環了!

開什麼玩笑?!

我們這是在造euv光源,不是搞核聚變的!

就算

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