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空氣泵發出一聲巨響,隨後傳來“咣咣咣”的聲響。
許秋嚇的一激靈,朝後縮了一下身子。
等了一會兒,他感覺沒什麼危險,便上前檢查空氣泵。
“看著沒有問題啊。”他向學姐道。
“確實沒問題,這是正常情況。現在是發動機在透過曲軸,驅動活塞向儲氣筒內打氣,等到儲滿氣後,就會自動停下。”
陳婉清試圖繃住臉上的笑容,但是沒有成功,還是笑了出來。
“學姐你是故意的吧。”許秋做出一副憤慨的樣子。
“怎麼會呢,我是那樣的人嘛。”陳婉清笑道。
許秋搖了搖頭,回到總控臺,繼續實驗。
他開啟總控開關,膜厚儀的數顯螢幕亮起。
許秋先檢查膜厚儀的引數是否設定正確,包括靶材名稱、密度和z因數等。
膜厚儀的原理並不是直接測量膜厚,而是透過間接法計算得到。
在蒸鍍過程中,靶材分子到達晶振片處,會產生電訊號,經過擬合計算可將電訊號轉化為蒸鍍速率,最後將速率與時間相乘得到膜厚。
調好膜厚儀後,數顯螢幕上顯示:
蒸鍍材料為鈣,速率為000埃每秒,膜厚為000埃。
同時,許秋觀察到總控臺上面有兩個氣壓計,可以實時監測蒸鍍艙內的壓強。
其中一個示數為一個大氣壓,即10e5帕,另外一個則處於未工作狀態。
“為什麼要安裝兩個氣壓計呢?”許秋疑惑道。
“兩者的壓強測定範圍不同,前者約為01到10000帕,後者約為十的負六次方到1帕。”陳婉清道,隨後又補了一句:
“準備工作都好了,開始抽真空吧。”
許秋點點頭,按下機械泵的啟動鍵,同時開啟超真空擋板閥,又是一陣轟鳴聲傳來。
“蒸鍍操作的噪音有點大啊。”習慣了之前安靜實驗環境的許秋,忍不住吐槽道。
“是啊,不過慢慢你就會適應的。”陳婉清道。
機械泵啟動後,氣壓計的示數快速減小。
從10e5,迅速變為32e4,然後是89e3,直至1e3帕左右,下降速度才開始變慢。
過了兩分鐘左右,壓強終於降至20帕以下,許秋關閉超真空擋板閥,開啟分子泵。
分子泵的轉速要從0逐漸加速至27000rp後,它才可以正常工作,約需要耗時10分鐘。
待分子泵運轉平穩後,許秋開啟束源爐擋板,然後啟動束源爐的升溫控制裝置。
裝置的螢幕上顯示有束源爐當前溫度和設定溫度,分別為27和30攝氏度。
他開啟設定介面。
這塊螢幕採用的是計算器上那種“日”字型的顯示方法,主要用於數字顯示,所以顯示出來的字母都很抽象。
還好都是常用的單詞,許秋花了點時間弄明白每個引數的意義後,手動設定升溫程式:
sp1 30
rate 30
ti 60
sp2 400
rate 30
ti 3
sp3 520
rate 20
ti 100
第一階段,以30攝氏度每分鐘的速率升至30攝氏度,等待60分鐘;
第二階段,以30攝氏度每分鐘的速率升至400攝氏度,等待3分鐘;
第三階段,以20攝氏度每分鐘的速率升至520攝氏度,等待100分鐘。
確認無誤後,他長按啟動鍵,啟動程式。
升溫程式需要跑