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還有一部分，在奧營撤退時遭到槍殺。1 月下旬的頭幾天內，在借調來的黨衛軍工兵部隊參與下，比克瑙焚屍場的4 座焚屍爐相繼被炸毀。此後，集中營的大小官員和男女看守才撤離集中營。幾天以後，黨衛軍的一個小分隊，再次返回集中營，又殺害了一大批知情較多的男女囚犯。1 月27日，當蘇軍衝進奧斯維辛集中營及比克瑙、布納兩個分營時，他們得到的罪證只剩下倉庫中的部分掠奪自囚犯的一批衣物，焚屍坑中的人油以及7600名奄奄一息的重病囚犯。由於奧斯維辛集中營的檔案材料蕩然無存，就連在該營遇害的囚犯人數，盟國調查人員都難以確定。但僅僅根據納粹分子撤退時未及銷毀的長髮，專家們斷定這些頭髮至少取自14萬名受害婦女。紐倫堡審判時，法庭使用了蘇聯方面提供的數字‐‐400 萬；50年代初期，以司法界權威達維多夫斯基教授為首的波蘭國家調查納粹罪行委員會確認的數字則為550 萬。
直到60年代，這一數字仍在不斷變化中，波蘭政府最終確認為150 萬以上。這樣一來，對奧斯維辛集中營各個納粹戰犯的身份確認，主要依靠集中營內倖存囚犯提供的數字及犯罪事實。至於德國（包括奧地利）境內的各個集中營，如達豪、貝爾森、拉芬斯布呂克、弗洛森堡、毛特豪森、布亨瓦爾特等，由於它們大部分是由美、英盟軍解放或是透過囚犯暴動自行解放的，納粹戰犯幾乎悉數就擒，檔案檔案也大部被繳獲。解放集中營時最為順利的當屬貝爾森集中營，司令官克拉邁和他的情婦、副長官伊爾瑪&iddot;格蕾澤當時正在飲酒作樂，不意美軍部隊好似自天而降，尚未反應過來，已被帶上手銬。其他要員，如副長官赫斯勒、女營看守長伊莉莎白&iddot;福肯哈特、黨衛軍醫生克來因以及50多名黨衛軍女看守、200 多名男看守，幾乎無一漏網。
營中的檔案文獻，也尚未進行多少破壞。因此，對這些集中營的納粹戰犯，比較容易定罪。
另一方面，盟國的軍事情報機關、被佔領各國的抵抗運動組織，甚至被關押在納粹集中營、滅絕營中的許多囚犯，也為調查戰犯罪行、確認戰犯身份作出了重大貢獻。值得提出的是奧斯維辛集中營中囚犯們建立的的國際抵抗組織。其成員在極為艱險的條件下，編制了該營罪惡活動大事記，給每一個主要的黨衛軍軍官建立了罪行檔案；甚至在敵人的嚴密監視下，奧斯維辛集中營的抵抗運動組織成員大衛&iddot;斯莫列維基，在劊子手莫爾的眼皮底下，將微型照相機夾藏在表層正燃燒的瀝青堆底部帶人焚屍區，巧妙地拍攝了納粹看守驅趕大批被迫脫光衣服的匈牙利猶太婦女進毒氣室和在林間空地上焚燒上千具被害者屍體的場面，從而為審判霍斯、莫爾等戰犯提供了確鑿的罪證。就連被集中營當局視為核心機密的絕育試驗場所‐‐10號樓內，也有飽受摧殘但經歷九死一生而倖免於難的少數女囚登上了紐倫堡法庭的控訴席，以親身經歷揭露了克勞貝格、舒曼、維爾茨等惡魔醫生的駭人聽聞的罪行；居住在巴黎的猶太婦女豪澤爾即是其中之一，她下腹部不止一條的深重手術疤痕，使得再能言善辯的納粹戰犯，也只得俯首認罪。
至遲從1942年起，奧斯維辛集中營的囚犯們就建立起以波蘭政治犯約瑟夫&iddot;西倫凱維奇等人為首的秘密抵抗組織，人員遍及奧斯維辛主營、比克瑙第二分部、莫諾維茨第三分部的各個角落，從工廠、工地到農場，從毒氣室、焚屍場到醫院，從秘書處到司令長官的家中，甚至在被納粹分子視為核心機密的活人試驗室‐‐奧斯維辛主營10號樓內，都分佈著抵抗運動的秘密成員。抵抗組織的領導集團（其中大部分是共產黨員和蘇軍戰俘）暗中教育男女囚犯，不要只看到焚屍爐每
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