第19章 用光刻還是冰刻 (第1/2頁)

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好嘛，這倒是大意了。

一時間，會議室內的眾人有點尷尬。不過不會可以學嘛，而且你既然作為曾經的二把手，以後要學的東西會越來越多。

最後蘇雲欣順利拿到了所有資料，當晚就開始著手研究。

蘇雲欣喝了一口紅糖水，託著小腦袋，考慮著到底是要光刻還是冰刻。

光刻機實際上並不是用鐳射來雕刻晶片，名字裡有個“刻”字，但實際工作流程並不涉及“刻”的過程。

晶片生產用光刻機的工作更像是留影機，把掩膜板上的圖案照射到塗在晶圓上的光刻膠上，讓膠片曝光。

光刻機只是完成曝光，不進行光刻。

之後交接給蝕刻機，蝕刻機才是要完成刻的工作。使用極紫外光等方式雕刻電子線路。

而在其中光刻膠至關重要。

傳統光刻機塗抹在晶圓上的這一過程中極易受到厚度、均勻程度等影響，從而影響良品率。

而冰刻在真空環境中，由於水自身的特性，它可以完美地包裹住晶圓，從而避免傳統光刻膠可能導致的種種問題。

但是冰刻機的雕刻工藝需要非常細緻。

“如果可以用高強度離子束替代電子束。冰刻會不會更好呢？”蘇雲欣有節奏的轉著筆。

哎，有時候方案太多也是一種煩惱，都要選擇困難症了。

“系統，你有什麼建議嗎？”

[#-_-都可以啦，就這麼個光刻機，有啥糾結的。]

[倒是有個捷徑，離子束直接混合靈子，離子速度將再次加速，離子束變的越發尖銳。不過，我怕你把握不好。]

“誒？你這樣不相當於微型鐳射武器了嗎？”

[是啊，如果是1pm（皮米），只有這樣才理想，你之前都是1nm後直接跳矽基晶片了。]

“矽基晶片不是更好麼？”

[-_-||所以說你對碳基矽基的認知太片面了，而且目前你對於靈子的理解也很膚淺。你目前對靈子的應用差不多就跟藍星目前對核原子的應用水平差不多。]

“TAT有沒有這麼差啊，我們之前不好歹也衝到四級文明瞭嗎？”

[你知道你偏科有多嚴重嗎？你之前到最後文明程度是3-6之間，有些技術甚至不如一個高階二級文明。]

還是以後再嘗試吧，目前還是穩妥一點用等離子體蝕刻。

透過加強能量注入縮短EUV極紫外光波長，對於目前蘇雲欣而言，能量損耗無所謂，後期再進行最佳化。

隨著一道道密密麻麻的公式，一步步嚴密的演算，一張張陣亡的A4紙。

最終，波長縮短到了5.5nm，達到了極紫外光與倫琴射線的中間值。雖然良品率可能一般，但是1nm肯定是能搞定的。

光刻機的另外一個難點是光學器件。很多人認為只有德意志的菜思鏡片才是完美的鏡片。

實則不然，華夏如今的航天事業蒸蒸日上，大量航天器，衛星都是用的國產晶片，更是有目前世界上最大的“大碗”太空望遠鏡，足以說明咱兔子的光學器件沒問題！

光刻機難的是校準、除錯和成像質量補償上。對於這些，蘇雲欣一項一項的微調，目前銀河一號計算機也是分配了60%的算力支援。

這時候，核聚變的作用又體現出來了，海量的能源是一切研究的保障。

如果靠傳統電力，這樣的計算機開一天就要耗費一個城市的電量，更不要說還有冷卻系統等一系列的消耗，就算不考慮資金問題，如此大的電力消耗也是難以排程。

現在就是豪橫，除了必要的檢測時間，直接不關機！

完善的工業體系，無數先行工作者的努力