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：“光刻機這麼極限使用，會不會影響到使用壽命？”
“還有良率。”
“是啊，經過這麼多道曝光，任何一道工序失敗，都可能滿盤皆輸，成本就上來了……”
領導們來回分析，議論紛紛。
陸飛只能一一回答，“損害壽命肯定會損害，良率低也肯定會低一些，成本自然也就會高一點，但這是沒有辦法的辦法，目前euv光刻機國產化要實現徹底突破，還有不少技術難題擺在面前，需要時間去攻破。”
“比如呢？”
沙領導投去問詢的目光。
“光刻機的技術難點主要集中在光源、反射鏡、工作臺，現在雙工作臺已經解決了，光源問題也突破了，就剩下物鏡系統。”
陸飛直說道：“asl、尼康的光刻機用的是蔡司的技術，但蔡司願意賣給asl、尼康，但絕對不會出口給我們。”
然後嘆了口氣，“沒辦法，我們只能從零開始，聯合長春光機、徠卡、華為等聯合研發，現在搞定了duv浸潤式的物鏡系統，至於euv的，恐怕需要很長一段時間。”
“那這期間，復芯、中芯的晶圓代工，有沒有可能會被臺積電、英特爾的差距拉大？”
鄭韓皺了皺眉。
“肯定會，但好在情況並不糟糕。”
陸飛笑道：“雖然5n是目前我們的極限，理論上而言，臺積電、英特爾、三星這些有euv光刻機的，製程工藝甚至可以衝擊到1n，但得到的回報並不會太高。”
不少領導感到奇怪，“為什麼這麼說？製程工藝難道不是越先進越好嘛？”
“理論上是這樣，但事實是現在全球智慧機領域已經有‘效能過剩’的趨勢，搭載5n晶片的手機體驗，未必就不如3n，就會讓3n及以下工藝陷入一種尷尬的地步，飆升的成本卻只得到微弱的效能提升。”
陸飛嘿然一笑，“反倒是28n、14n和7n這三個節點的工藝才是市場主流，特別是我們國內絕大部份的晶片需求，所以有了國產的duv浸潤式光刻機，基本可以保證我們不會也不怕被卡脖子，也能保證支撐到我們研發出euv光刻機的那一天。”
眾人兩兩相望，相視一笑。
確實，28n是積體電路產能中劃分中低端跟中高階的分界線。
除了對功耗要求比較高的 cpu、gpu、ai晶片外，其餘的工業級晶片用的都是28n以上的技術，比如電視、空調、汽車、高鐵、火箭、衛星、工業機器人、電梯、醫療裝置、智慧手環、無人機……
但現在，7n，甚至不計任何代價，極限可以推到5n，簡直是綽綽有餘。
“你們在資金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有沒有什麼需要我們解決的？”
沙領導慈眉善目。
陸飛也不客氣，立馬張口。
一個敢提，一個敢接。
“我還有個提議，希望領導們能支援。”
“說。”
“是這樣，邏輯這些年一直跟水木大學開展了比較另類的秘密專案，那就是研究直接跳過光刻機，建立光刻廠和光刻車間。”
“光刻廠和光刻車間？！”
沙領導、鄭韓等人或多或少感到驚訝。
“對，安裝和除錯一臺duv光刻機需要至少一年的時間。”陸飛一本正經說，“而如果直接造光刻廠，把光刻機的整個供應鏈連線起來，就可以擺脫以往單臺光刻機的生產模式，轉為流水線生產，根據不同的精度需求，大規模生產各類精度的光刻機，就能把光刻機，甚至晶片價格打下去，你們覺得怎麼樣？”
“嘶～”
現場技術領域的領導立刻竊竊私語起來。
