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書接上回~~ 利用提拉法制造的矽棒可以決定晶圓的尺寸。 要大晶圓就拉粗點,短點,要小晶圓就拉細點長點……(好像有點不太對的感覺……是什麼?!!) 矽棒直徑和提拉速度可以利用溶液、矽棒與輻射熱量三者之間的熱平衡進行估算。 舉個栗子,12英寸的晶圓矽棒有1.5米長,就需要拉8小時。 之後就是將矽棒切成矽片,送晶圓廠造晶片。 有人會說,你這矽片和晶圓變來變去的到底是什麼意思啊,一會說晶圓一會兒說矽片,這不是同一個東西嗎?! 其實矽片、晶圓還有晶片三者的關係可以說是爺爺、父親和兒子的祖孫關係。 矽片就是光禿禿的晶圓,需要經過一系列光刻、外延、刻蝕等加工變成含有數百枚晶片的晶圓,之後再進行切割封裝就變成了一枚枚晶片。 用形象點的比喻就是矽片是烤肉架上的烤肉,滋滋冒油~晶圓就是撒上了孜然、辣椒粉、和鹽等各種佐料的烤肉,香味撲鼻忍不住口水嘩嘩流。 晶片就是烤好的肉被大師傅片出來一片裝盒…… (餓了的請舉手!?(ˊ?? ? ??ˋ)忽然想去吃烤肉…… ) 從矽棒到矽片,最少要經過十個步驟。 第一、截斷。矽棒要掐頭去尾,因為製作工藝的原因,矽頭矽尾是不規則形狀。這部分如果質量好就會被製成晶體條,用來拉出新的矽棒。算是實現了矽棒生產的無限套娃~~~ 之後是探查棒身電阻率,檢查軸向的雜質濃度是否異常,之後再截成三十厘米左右的矽段。 第二、滾磨。就是把矽段打磨。 因為矽的硬度很強,高達9.5,是僅次於天然金剛石和天然莫氏硬度更高的隕石。打磨工具就是用金剛石製造。 其次,提拉法制造的矽棒不是完美的圓柱體,所以我們想要得到標準尺寸也必須打磨。 矽段和金剛輪劇烈摩擦會大量發熱,所以需要持續加水降溫。之後還要在矽段上磨出定位邊,確保光刻機對晶圓進行光刻時候精準對位。 第三、切片。打磨好的矽段就要切片,變成矽片。一般使用內圓切割機。 就像帶有環形刀片的狗頭鍘(來人啊,狗頭鍘伺候!!) 優點是切割面平整,效率穩定,缺點是效率低,耗損多。因為一次只能切一片…… 還有一種方法是使用金剛砂線切割機,優點是切割效率高,損耗低。缺點是切割面不平整,需要花更多時間打磨。 第四、打磨。正面打磨,背面做磨砂處理,為之後的工序做充分準備。 第五、倒角。用倒角機把打磨好的矽片直角磨成圓弧形。因為矽是一種脆度很高的材料,這樣做是為了避免矽片邊緣發生崩裂風險。 同時為後面塗抹光刻膠做準備,因為光刻膠是用旋轉方式塗抹在矽片上的,如果矽片是直角,光刻膠就會因為離心力淤積在矽片邊緣處,造成厚度不均,從而影響光刻。 還有在做外延生長時候,沉積物也會優先堆積在直角邊,影響沉積效果,而圓弧狀的角可以消除邊緣沉積現象。 第六、精磨。做好倒角後給矽片再做一次打磨去掉一些厚度,讓矽片更加光滑。 第七、刻蝕。使用化學溶劑對矽片進行化學刻蝕(氫硝酸和氫氟酸)腐蝕掉表面20-50微米的厚度,祛除之前打磨過程中,矽片累積的機械損傷以及混入矽片表面的磨料。 到此,經過一系列操作的矽片表面已經很光滑了,但用來製造晶片還是不夠光滑。 光刻的影象尺寸和精度都是奈米級別,所以要求矽片的表面就是一個完美的平面,一點點起伏層次都會影響光刻效果。 第八、化學機械拋光。為了達到製造晶片用晶圓那變態極致的平滑,使用物理和化學結合的拋光手段。具體做法就不說了,只簡單舉個栗子。 在12英寸的矽片上,光滑面達到的效果就如同你在電影院裡看到那種IMAX螢幕影布上只有一根頭髮絲粗細的起伏。 (來啦!來啦!!吐槽又來啦!!不知道手搓黨造出世界最先進的0.2、0.1奈米級別的晶片時候用的是什麼技術?!很多小說的主人公可都是孤兒哇,沒爹沒孃的,哪兒來的錢搞這

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