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&ldo;十二月事變&rdo;後，閻錫山加緊與日軍勾結，多次派趙承綬等與日軍接觸，商談投降條件。1941年8月11日，趙承綬與日軍代表田邊盛武和楠山秀吉簽訂了《汾陽協定》，閻錫山實際是想降日充當漢奸傀儡。後因共產黨、八路軍的阻止，閻錫山又有所顧忌。之後，閻錫山與日軍打打停停，但降日的打算並未放棄。1942年4月，閻錫山又派趙承綬到太原會見日軍山西駐軍參謀長花谷正。花谷正提出，必須與閻錫山直接談判，才能解決問題。5月，閻錫山親自與日方在吉縣安平村舉行會談。因條件不合，會談未獲結果。後日軍將《汾陽協定》及&ldo;安平會議&rdo;開會所拍照片印刷，用飛機投撒西安，公佈於世，並對閻錫山發動進攻。雖然如此，閻錫山仍與日軍繼續聯絡，直到日本投降。
1945年8月，日本帝國主義宣佈無條件投降後，閻錫山與日偽軍勾結，即調動兵力搶佔太原等重要城市。閻錫山以留用技術人員作掩護，留用日軍戰俘與技術人員五千餘人，其中有戰鬥力的三千餘人，編為六個大隊。隨後，他又將偽軍改編為五個&ldo;省防軍&rdo;，為他奪取人民的勝利果實賣命。
1945年9月，閻錫山抽調重兵，令第十九軍軍長史澤波等率十三個師，分左、右兩路，向上黨解放區進犯。劉伯承、鄧小平調集晉察魯豫主力部隊三萬餘人，民兵五萬餘人奮起自衛。經過四十餘天的激戰，閻軍精銳三萬餘人被殲，第七集團軍副司令彭毓斌被擊斃，史波波等二十七名將官被俘虜，上黨戰役使閻錫山的實力損失慘重。
其後，閻錫山在山西極力推行各種暴政，加強特務統治，組織&ldo;還鄉團&rdo;，向廣大農民進行反攻倒算，並積極追隨蔣介石進行反共反人民的內戰。但是，隨著人民革命戰爭的深入發展，閻錫山遭到一連串的打擊和失敗。從1946年11月底開始，晉西各縣相繼被陳賡、王震等部攻佔。1948年6、7月間，人民解放軍發動晉中戰役，閻錫山所部被殲十萬人，丟失了縣城十多座，連太原綏靖公署副主任趙承綬也被俘虜，閻錫山只有困守太原，作垂死掙扎。1948年7月以後，太原城已被人民解放軍包圍，解放軍多次提倡和平談判，均遭到閻錫山的拒絕。其所屬第三十軍軍長黃樵松準備舉行和平起義，被閻錫山逮捕，押送南京交蔣介石槍殺。
1949年1月，原晉軍將領陳長捷在天津戰敗被俘，傅作義在北平率部接受和平改編，閻錫山更處於孤立無援的境地，雖然他還狂妄叫喊，要與太原共存亡，暗地裡卻指使其親信在蔣介石、李宗仁面前活動，建議李宗仁電邀他到南京&ldo;討論國事&rdo;。1949年3月，他假借開會之機，倉皇逃往南京。4月24日，人民解放軍徐向前兵團一舉攻克太原，全殲守敵。第六十一軍軍長趙恭被擊斃；國民黨山西省代理主席梁化之服毒身亡；第十兵團司令官王靖國、第十五兵團司令官孫楚，以及趙世珍、孫福麟、劉奉濱、溫懷憲、曹國忠、韓步洲、高倬之、劉效曾、陳如日等一批高階將領被俘虜，閻錫山苦心經營的晉綏軍徹底覆滅（9月19日，綏遠省保安司令兼省主席董其武率部起義，綏遠和平解放），閻錫山在山西長達三十八年之外的統治亦徹底結束。
閻錫山逃出太原後，於6月3日出任國民黨政府行政院院長。然而，&ldo;閻內閣&rdo;僅僅存在一個星期，到6月11日，就被在廣州成立的以蔣介石為主席的中央非常委員會所替代，他實際是個毫無實權的&ldo;院長&rdo;。&ldo;閻內閣&rdo;可以說是國民黨統治時期最後一屆內閣。1949年10月11日，閻錫山隨&ldo;國民政府&rdo;遷逃重慶，重慶解放後，又逃往成都。12月8日，人民解放軍迫近成都，閻錫山見已無立
