第76章 晶片流片完成 (第1/2頁)

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第76章 晶片流片完成

一般的住宅樓或商業樓盤，地下室一般用作地下停車場，每層面積比之建築佔地面積，只少不多。然而這棟實驗樓的情況明顯有異，地下室的面積，比之上層建築佔地面積多出來太多了。

“其實這棟實驗樓的主體是地下這三層，所有的重點裝置和保密專案，都安排在地下，面積大一些也屬正常。地面以上的那些樓層都是一些辦公室，會議室之類的次要場所。”周萬達開口，給喬瑞達解釋了地下建築的重要性。

此處無塵車間的配置相當的高階，四周牆壁上刷的是乳白色專用無塵塗料，地面上鋪的是淡藍色環氧地坪漆，吊頂上使用累鋁合金方管龍骨，和鋁塑板面層，空調透風口、迴風口、燈具，均勻分佈其間，看起來非常的協調。在地面上，沿著一條直線，安裝著大大小小上千臺裝置。此時所有裝置都處在開啟狀態，有數百名穿著無塵服的工作人員正在其間走動忙碌。

看到如此情形，喬瑞達突然就覺得，那600萬的流片費用，一點也不貴了。

“這裡怎麼會有如此多的裝置，生產一枚小小的晶片竟然需要這麼多裝置嗎？”

“這是一條晶片生產試驗線，由1216臺裝置構成，主要用於晶片流片測試，新工藝新技術探索，微電子專業學生培訓等用途。這還只是試驗線，裝置數量要少的多，如果是晶圓代工廠的正規生產線，裝置數量至少在3000臺以上，才能保證晶片的大批次不間斷生產。”

說話之人是王院士，這條晶片生產線，就是在他的主導之下建成的，可以說這裡的每一臺裝置，每一條傳送帶，他都瞭如指掌。

王院士將喬瑞達和周萬達二人，帶到生產線起始端，開口繼續介紹道：“咱們這條晶片生產線，是在一條0.13μm生產線的基礎上改造的，所以使用的還是六英寸晶圓。現在國際主流的晶片生產線，已經用上了八英寸甚至十二英寸的晶圓，在良品率和生產成本上，都有巨大的優勢。”

“這次只是流片測試，不是批次生產，所以使用的晶圓只有30片。現在正在進行的步驟是塗膠，也就是使用塗膠機，將光刻膠均勻的塗抹在晶圓的表面。下面要進行的步驟是第一次光刻機光刻，後面還有顯影、刻蝕、離子注入等步驟。”

王院士不愧是老牌教授，基礎知識紮實，口才出眾，講解的深入淺出，即使喬瑞達這個第一次接觸晶片生產的新人，也聽了個清楚明白。

就這樣，喬瑞達跟在王院士的身後，將晶片的生產流程，從頭到尾的跑了一遍。由於要用到多重曝光技術，塗膠、光刻、顯影等步驟，要來回折騰好幾次，其間還要更換掩膜版和部分摻雜用料，耗時十分之長。所以當30片六寸晶圓，跑完所有工序，走下生產線的時候，已經是傍晚時分了。

加工完成的矽晶圓，表面多了一些花花綠綠的刻蝕圖案，看起來非常的漂亮。王院士親自動手，將這30片矽晶圓，放到一個密閉容器中，封存了起來，而後說道：“今天時間不早了，就到這裡吧，明天上午再去做切割和封裝測試，到時候就可以知道這次的流片是否成功了。”

喬瑞達跟隨在一群工作人員的後面，走出了無塵車間，而後排隊等待乘坐電梯返回一樓。

“從負一層到一層，只有一層樓的高度，還要排隊坐電梯，這也太奇怪了吧，就不能走樓梯嗎？”

“你知道什麼，無塵車間本身挑高就有五六米，在上面還有一箇中間層，用於安裝空調、通風除塵裝置。也就是說負一層到地面，至少有十米以上的垂直高度。更重要的是出於保密的需要，普通樓梯只做應急逃生作用，平時是關閉的，所以大家只能排隊乘坐電梯上下。”

在排隊等待期間，喬瑞達開啟金手指，調出相簿介面，在那裡