第130章 ‘點光’測試 (第1/3頁)
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帶著感光晶片回到平江後,康馳又重新投入到了繁忙的工作中,同時出於優先順序考慮,相機的事情也只能往後排。
時間一天天過去,距離何永說的一個月改良期限也越來越近了。
終於,在11月13號的這天,何永的電話打過來了。
“裝置已經改造完畢,正在做實驗前的最後檢查工作,預計15號就可以開始進行測試了。”
“嗯,我明天過來,這段時間辛苦你們了。”
兩人隨後簡單地聊了幾句便結束了通話。
隨後康馳重新梳理了大唐重工的研發工作,確定在沒有他的情況下,專案也能正常推進,然後便開始動身前往常春。
兩天後,常春光所的潔淨實驗室內,dpp-euv光源專案組的研究人員,都已經全副武裝地堅守在各自的崗位上,進行著測試前最後的一遍檢查工作。
康馳此時也站在控制室,隔著玻璃看著裡面那臺體積和普通臥室差不多大的光源裝置,內心同樣充滿期待。
只要把光源搞定了,那他光刻機的研製進度,最少能暴漲三分之一。
加上平江已經組裝完畢的鏡片製造裝置,以及正在攻關的工件臺。
euv光刻機三大件合體除錯時間,已經是指日可待了。
何永對裝置的主要引數,以及實驗條件進行最終核對後,走到了康馳的身邊,儘量壓沉音量道:“各項引數都已經核查無誤,可以開始了。”
“那就開始吧。”
“嗯!”
這次的實驗主要分兩個階段進行,
第一階段只對裝置進行通電,然後噴錫氣,測試磁場是否能夠和預想中的那樣,把錫氣給一絲不落地吸到廢料收集器中。
隨著何永開始實驗命令下發後,實驗室內外的工作人員立即開始行動了起來。
裝置通電,磁場加壓……
隨著螢幕上的資料瘋狂跳躍,數字最後定格在了三千高斯。
這個磁場強度,和可控核聚變幾十萬高斯的磁場強度顯然沒得比,但兩者的體積和目的不同,其實沒啥可比性,
對於euv光源來說,只能要約束住等離子體和錫液碎屑就行了,再高的強度也只是浪費電而已。
“第一次噴射準備,噴射!”
隨著工作人員按下按鈕……似乎啥也沒發生。
嗯,這不是火箭發射,人根本就不可能透過肉眼,看到錫氣的噴射……
在用鐳射擊打錫液的lpp方案中,為了產生穩定而高功率的光源,需要每秒發射5萬次的鐳射,並且次次命中錫液。
而在dpp方案中,則是透過正負極的通電‘點火’頻率來實現,技術難度簡單很多,同時因為光電開關的頻率提升難度小,功率的提升空間就非常大了。
真正的限制,是錫氣的噴射頻率。
受限於物理結構,目前能做到噴射頻率只有每秒2萬次。
既然不能提高噴射頻率,康馳就直接大力出奇跡,提高每次的噴射量,每噴一次就電它個五次甚至十次,最大程度地把錫轉換成等離子體。
反正有磁場約束,不怕氣體、碎屑和等離子體在電擊中亂飛。
即便如此,每秒2萬次的頻率也很誇張了。
只能透過高速攝像機和各種分析儀器,回放實驗資料,才可能觀測到實驗的結果。
過了十分鐘,測試的分析結果就出來了。
“未發現錫元素外洩,全部錫氣在08秒後冷凝成液態,順利進入廢料收集器!”
聽到分析員語氣激動地念出結果,所有人的臉上都露出了喜悅的神色。
這說明支撐這套設計方案中,最重要的磁場設